photolithography
UKˌfəʊtəʊlɪˈθɒɡrəfiUSˌfoʊtoʊlɪˈθɑːɡrəfi
Meaning
1n.
光刻技术（一种用于微电子器件制造的精密工艺，利用光学和化学方法在材料表面蚀刻图案）
Usage
Photolithography is essential for manufacturing integrated circuits.
光刻技术是制造集成电路的关键工艺。
The resolution of photolithography determines the miniaturization level of chips.
光刻的分辨率决定了芯片的微型化程度。
Modern photolithography uses extreme ultraviolet light to create nanometer-scale patterns.
现代光刻技术使用极紫外光来制造纳米级图案。
Etymology
该词由三个希腊语源语素构成。photo- 源自希腊语 phōs（光），指代工艺中使用的紫外光源；litho- 源自希腊语 lithos（石头），延续了早期石版印刷术的命名传统；-graphy 源自希腊语 graphia（书写术），表示记录或描绘的技术。三者结合生动体现了"用光在石质表面书写"的核心原理，现代专指半导体制造中通过光照蚀刻硅晶圆图案的关键技术。